据报道，近日，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所张子旸研究员与国家纳米中心刘前研究员合作，开发成功新型5nm超高精度激光光刻加工方法。该技术使用了研究团队所开发的具有完全知识产权的激光直写设备，打破了传统激光直写技术中受体材料为有机光刻胶的限制，可使用多种受体材料，极大地扩展了激光直写的应用场景。点评：亚10nm的结构在集成电路、光子芯片、微纳传感、光电芯片、纳米器件等技术领域有着巨大的应用需求，这对微纳加工的效率和精度提出了许多新的挑战。然而，长期以来激光直写技术很难做到纳米尺度的超高精度加工。此次中国研究团队很好地解决了高效和高精度之间的固有矛盾，开发的新型微纳加工技术在集成电路、光子芯片、微机电系统等众多微纳加工领域展现了广阔的应用前景。苏大维格（300331）研发成功紫外激光直写光刻关键技术、软件和装备，处于国际领先地位。公司在互动平台表示，与中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所有项目合作。
转载自: 300331股吧 http://300331.h0.cn
公司名称：苏大维格
股票代码：sz300331
市场类型：创业板
上市日期：日
所属行业：元器件
所属地区：江苏
公司全称：苏州苏大维格科技集团股份有限公司
英文名称：SVG Group Co. ,Ltd
公司简介：苏大维格公司是致力于微纳关键技术、柔性智能制造、柔性光电子材料的创新应用，是国家高新技术企业，国内领先的微纳结构产品制造和技术服务商，主要从事微纳结构产品的设计、开发与制造，关键制造设备的研制和相关技术研发服务。公司在运用自主研发的微纳光学技术这一...
注册资本：2.6亿
法人代表：陈林森
总 经 理：朱志坚
董 秘：蒋林
公司网址：www.svgoptronics.com
